与此同时,徐端颐正在办公室里长吁短叹着。
从今年3月开始,徐端颐就陷入了苦闷之中,他虽然才54岁,头发却已是花白的了。
1961年,徐端颐从水木大学的精密仪器系毕业后,便留在学校当助教。
精密仪器这个专业学制很长,徐端颐足足读了六年。
徐端颐只教了一年书,就带着两岁的儿子到了赣鄱省的农场,准备在那里安心当农民、种一辈子的水稻。
没想到,在1971年的一天深夜,农场场长火急火燎地敲开了徐端颐的房门,告诉他国都来了急电,命令他立刻返回国都。
回到国都后,徐端颐接到了任务,国家让他负责研制两种关键设备:“自动光刻机”和“分步重复照相机”。
自此,徐端颐便和光刻机结下了不解之缘,他把半生的时间都用在了光刻机的研发上,却没想到,他与光刻机的缘分在今年3月戛然而止。
电话铃声响了,徐端颐接起,发现是系主任来的电话。
徐端颐心下一沉,生怕从领导嘴里听到什么坏消息。
系主任的声音喜气洋洋的,倒不像是来说坏消息的:“老徐呀,你一直在办公室里吧?等会下我和院长过去找你。”
徐端颐小心翼翼地问:“请问领导们过来是什么事?”
“哎呀,电话里说不清,总之是大好事,你放心吧。”
“这么说,是我那笔光盘的经费贷款被批准了?”
“哎呦喂,徐大教授呀,你快忘记你那个光盘的事吧!今天这事要是弄好了,别说60万,就是600万的经费都有着落!你先在办公室等着,我们马上到。”
挂了电话,徐端颐忐忑不安地在办公室里坐着,心里惦记着自己那笔光盘经费贷款的事。
过了大概一刻钟,办公室的门被敲响了,徐端颐连忙打开门,然后就见三位校领导簇拥着一个很有派头的大背头进了门,与之同来的还有自己的朋友俞忠钰。
王院长热情地对着大背头介绍:“张总,这就是我们精密仪器系的徐端颐徐教授,分步投影光刻机的项目负责人。”
然后,王院长笑眯眯地对着徐端颐说道:“徐教授,这位是元亨集团的副总裁张思明张总,这次过来是专门了解你的光刻机项目的。”
徐端颐以为张思明是来买光刻机的,便很老实地说道:“张总你好,真是不巧,我们光刻机项目已经终止了,项目组都解散了,已经生产不了光刻机了,我现在都转去研究光盘了……”
系主任连忙出来打圆场:
“哎~老徐,你光盘的科研项目贷款不是还没批下来吗?
反正连开始都没开始,先放一放也不打紧。
元亨集团的赵德彬赵总你总该知道吧?
赵总想在洪港建晶圆厂,这可是好几亿丑元的大项目呢!
这不,张总听说你们团队会造光刻机,就想请你们团队过去,专门造光刻机。”
“那我这光盘……”
“别光盘了,光刻机才是大事,解散的人可以把他们叫回来!”
见徐端颐始终一脸难以置信的表情,张思明又把对俞忠钰的那套说辞搬了出来,并且再次显摆了一回拉扎的486,让众人感受一波赵德彬的“钞能力”。
至此,徐端颐才相信了元亨集团是真的有实(财)力支持光刻机研究。
待众人落座后,徐端颐对张思明缓缓说道:
“张总,我们团队是一个很大的团队,成员来自学校五个系,人数多达上百人。
我们团队是1971年组建的,只用了一年多,就研发出了中夏第一台光刻机和分步重复照相机,这个成果在1978年获得全国科技大奖。
从1975年开始,我们采用了直接在半导体晶片上光刻集成电路的方法,开始研发‘自动对准分步投影光刻机’。
前后历时五年,我们在1980年研制出了中夏第一台‘自动对准分步投影光刻机’,这是咱们中夏第二代光刻机,获得过国都首届科技成果一等奖。
第二代光刻机在当时已经能批量生产,最细可以加工08微米的线,能在单晶片上刻下精细准确的集成电路,填补上了国内的技术空白。
在1987年,我们团队又开始研发更先进的第三代光刻机。
当时我们瞄准的是国际先进水平,设计标准是很高的,可光刻的芯片最大面积为1010平方毫米,实际有效分辨率为125微米,工作台行程160160毫米,可加工4至6英寸的晶片。
去年年底,第三代光刻机研发成功了。
我们一共生产了三台,一台留在我们学校的研究所,一台给了中夏科学院109所,一台给了国都半导体器件厂。
经过大量的实验,我们第三代光刻机与上一代相比,成品率提高了27。
我们的成果报上去以后,上面非常重视,领导亲自到学校里考察。
到了今年1月,上面召集了一大批权威专家,在学校里组织了一场规模很大的鉴定会,对我们团队的第三代光刻机进行鉴定,由物理学泰斗王首武先生担任评审组组长,上面的领导也来了好多。
鉴定会的每一环节都特别严格,我在水木这么久,这样的排场还是第一次见。
王守武先生很肯定我们发明的‘在光刻掩模上增加保护膜’这一新方法,还帮我们介绍了一家丑国公司合作生产。
这之后,我们的第三代光刻机连同使用的镜头一起获得了‘国家科技成果奖’,我们学校也成为了国内唯一一个能够自主研发高端光刻机的单位。
能得到王首武先生的赞赏是一件非常难得的事,而且我们的第三代光刻机也通过了非常严苛的鉴定,还接到了很多国内单位的订单,这让我们非常高兴,还以为国产光刻机的前景一片光明,很快就能追上国际一流水平。
万万没想到,我们统共只高兴了两个月。
等到今年3月,国内各单位纷纷取消了订单,就连跟我们长期合作的中夏科学院109所也不要我们的设备了。
如此一来,我们的光刻机没了市场,根本卖不出去,上面和学校也不再拨给我们经费,我们的研究项目也不得不中止,现在组里成员都已经解散了。
光刻机项目没了以后,我只好转去光盘研究。”
说到这里,徐端颐长长地叹了口气,脸上一片愁云惨淡。