他想提升光刻机在华国的优先度！</p>
为此，骗人先骗己，就算是高瓴内部，他也是要逼迫他们迸发最大的潜力出来。</p>
“光刻机。。。”</p>
“我知道，伱们高瓴一直对05专项计划注入了资金，让这个项目有了实质性的进展。”</p>
“不过。。。”</p>
说到此处，张领导说话之间有些犹豫。</p>
对于光刻机的进度，他比任何人都清楚。</p>
在原来的05专项计划之中。</p>
项目的目标，是利用世界上各种零部件，组装出一台实用的DUV湿式光刻机出来！</p>
不过，因为高怀钧希望有B方案，并且提供额外的研发资金，希望能够有自主可控的零部件配置。</p>
所以05专项计划，不出意外地时间拖延了。</p>
高怀钧无奈，但也没法。</p>
因为光刻机这玩意儿，最大的难点是三个。</p>
一个是光源。</p>
要产生 13.5纳米波长的极深紫外光，目前的做法是用高功率的激光轰击一个直径只有三千万分之一米的小锡球（就是金属锡的锡）。</p>
这种激光器全世界只有一家德意志国公司能生产，这家叫通快的德意志国公司用了十年时间才研发成功，单单是这台激光器就有 45700多个零件。</p>
但没想到的是，通快公司的这台激光器又依赖于一家立陶宛的公司提供关键设备，没有这家立陶宛公司制造的光源设备，通快公司也不行。</p>
下一个难关是如何把这种极深紫外光收集起来，形成一束极深紫外光的激光。</p>
光学系统。</p>
为 EUV研制的这套光学系统全世界也只有一家德意志国公司能制造，它就是大名鼎鼎的蔡司公司。</p>
蔡司生产的相机镜头是世界上最好的镜头之一，可是相机镜头与 EUV光学系统用的镜头比起来，那就好像是螺旋桨撒农药的飞机和喷气式战斗机的差别了。</p>
这套光学系统至少涉及以下这些技术挑战：高精度非球面加工，多层膜反射镜，高质量熔炼，离子束抛光技术，极限精度磨制。</p>
最终的目标是要制作出一片绝对光滑平整的镜片，要光滑到什么程度呢？</p>
就是三体中水滴的那种光滑程度，镜片的起伏就是大约一个原子的误差，接近理论上的物理极限。</p>
如果用蔡司自己的宣传比喻，就是把这片镜片放大到整个德意志国那么大，起伏也没超过 0.1毫米。</p>
如果一个病毒落在这片镜子上，那就好像拔地而起一座百米小山。</p>
最后一个是控制台。</p>
这就是精密仪器工作台。</p>
为了把几百亿个晶体管刻成，需要一个精度极高极高的控制台，这个控制台由 55000个高精度的零件构成，而这些零件又至少依赖于岛国，寒国，呆弯，美丽国，德意志以及贺兰等国家提供的专利技术，少了任何一个都不行。</p>
现在这台光刻机需要做到自主可控，就不是以1敌1，而是以一敌众了！</p>
以前工信部对于这台05专项的光刻机也不是很上心。</p>
因为光刻机的市场规模就是那么一点点大，但ASML一家公司已经依仗自己的技术能力，占据了光刻机市场90%以上市场份额。</p>
所以岛国的两家本来也具有光刻机生产能力的公司，因为从市场上始终赚不到钱，就只能渐渐退出了光刻机市场。</p>
也就是说，光刻机市场实际上已经是一个成熟的市场了，ASML一家独大的局面已经长期存在，在技术没有出现重大变化之前，这个局面也就会长期保持下去了。</p>
任何一家新进光刻机厂家，首先要考虑的就是需求在哪里。</p>
所以，可想而知。</p>
工信部其实也是对其做一个战略工程，长期的替代工程在做。</p>
如果不是高怀钧一直在主推自主可控，他甚至了解这个项目详细的细节兴趣都没有。</p>
毕竟这是科技部的事儿！</p>
可是。。。</p>
现在问题来了！</p>
要撸起袖子加油干了。</p>
光刻机，估计要上最上面的那个会了！</p>
张领导犹豫了片刻之后，继续说道，“你的意见我了解了！我会和上面汇报的。”</p>
“我的想法，这只代表我个人的想法！”</p>
“一个是通过政府层面和德意志国通快集团进行联系，看看能不能让其在华国设立分公司。”</p>
“你知道的，通快公司Trumpf为Cymer提供驱动激光器部分，而Cymer为ASML的光刻机提供光源系统。”</p>
“另外一个我国华国科院光电所365nm波长光源，单次曝光最高线宽分辨力也达到22nm，这个信息你知道的，但是现在并不稳定，还需要进一步的深化和优化，对此，我向上面申请成立专项光刻机小组，专项解决光源研发所存在的问题。”</p>
“第三个，华卓精科与华青大学的双工件台精度可达1.8纳米，这个有了一定的进展，同样会在光刻机小组里做联合方案解决。”</p>
“最后一个是哈工大的激光干涉仪，这作为第二代浸润式用的不是多轴激光干涉仪而是大尺寸平面光栅量测系统，其分辨率达到了0.05纳米比较第一款只会更加优秀！”</p>
“所以高总你对此不用担心，我们争取在两年之内，把自主可控的自主研发光刻机给搞出来。”</p>
张领导说到的一些内容，有些他是清楚的，而有些他并不是很清楚。</p>
当他听到从国家层面，引进通快公司时。</p>
心中还是不由得微微一喜！</p>
这可是会耗费国家资本的。</p>
但是通快公司，对于自主可控的光刻机研发，真的非常，非常重要。</p>
因为华国科院光电所365nm波长光源，并不是世界上最先进的光源，这可能会耽误很长的一段时间。</p>
如果华国顶层进行设计，那结果就更好了！</p>
更重要的是，专项光刻机小组。</p>
这绝对是重量型信息！</p>
在华国，郑智挂帅！</p>
没有顶层的专项工作小组，下面人根本放不在心中。</p>
高怀钧就算再着急，那都没有用啊！</p>
(本章完)</p>
(/95022/95022024/114149598.html)</p>
。</p>